VCR（Vacuum Coupling Retainer）過濾墊片氣體管路密封限流接頭是一種用于氣體管路連接的部件。它主要起到密封、過濾和限流的作用。

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng)，特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產品產量和設備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下，可確保產品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、E...

直線過濾器采用316L不銹鋼材質，線型結構緊湊，用于空間受限的環(huán)境下過濾氣體或液體中的微固體，以保護下游流體設備。最高工作壓力可達207bar；最高工作溫度204℃；多種過濾精度：2-5微米，5-10微米，20-40微米。廣泛應用于實驗室、...

HF系列高壓氣體專用過濾器，用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合，兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命，能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及...

BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求，整體金屬構造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...

HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經高溫燒結制成，具有良好的機械性和剛性，耐高溫、耐腐蝕、透氣，易于清潔的特點；濾芯式的設計可更換濾芯,可以重復使用，使用壽命長；可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質，改善下游干燥機的功能，延長精密...

0F系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003μm。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...

OF系列在線式專用氣體過濾器，專為高流量電子級氣體超純凈化設計，過濾精度高達0.003um。其結構緊湊、強度高，與多種半導體工藝氣體兼容，尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼，確保與多數(shù)高純度半導體工藝氣體的兼容...

半導體氣體過濾器是一種專門的過濾裝置，用于去除半導體制造中使用的氣體中的顆粒、水分和碳氫化合物等雜質。

MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...

在半導體制造的微觀世界里，哪怕是極其微小的雜質顆粒都可能對芯片的質量與性能產生災難性的影響。恒歌真空系統(tǒng)氣體過濾器它被廣泛應用于各類半導體設備接口，如化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(Epi)等關鍵...

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊...