HF系列高壓氣體專用過濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計壓力以及相對較輕的重量相結(jié)合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物、保護系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運行。濾芯可更換、維護簡便。

產(chǎn)品特點

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格

3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

4、過濾效率高、不易堵寒

5、安裝與檢修便捷高效

6、100%完整性測試通過

7、100%氨氣泄露檢測通過

技術(shù)參數(shù)